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旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備
聯(lián)系電話:021-62318025
旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備,采用旋轉(zhuǎn)滾筒設(shè)計(jì),專用于實(shí)現(xiàn)聚對二甲苯的均勻涂布。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,集成內(nèi)置泵與冷卻裝置,適用于處理尺寸較小的基材。
Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。
PPS 提供多樣化的定制化實(shí)驗(yàn)室涂布設(shè)備,配備多種可選裝置與附加組件,旨在確保涂層工藝的成功實(shí)施、表面潔凈度以及涂層的均勻性和平滑性。我們的絕大多數(shù)系統(tǒng)均具備以下功能配置:
- 可定制腔體尺寸
- 支持選配等離子體源
- 配備冷卻系統(tǒng)及集成泵系統(tǒng)
旋轉(zhuǎn)鼓式parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備Series 2000
尺寸 | L:2600mm W:960mm H:1460mm |
重量 | 200kg |
腔體容量 | 80L |
工藝腔體 | 400mm ? ,H: 600mm |
氣路 | 1 路氣體通道(內(nèi)置工藝腔室的氣體分配系統(tǒng)),最多可擴(kuò)展至 3 路氣體通道。 |
冷卻系統(tǒng) | 4L(機(jī)電式冷阱) |
真空連接 | DIN 40 ISO-KF |
排氣 | 電磁式排氣閥 |
真空泵 | 抽速50m3/h |
電氣連接 | 三相五線制,交流 50 Hz,電壓 400 V / 240 V,最大功率消耗 8.5 kW |
我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型,也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí),我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源,實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理,從而提高薄膜的粘附性。另外,我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì),在小占地面積下提供高性能技術(shù),節(jié)約大量的超凈間占地空間。
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