進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Series 3000 CR系統(tǒng)專為需在潔凈室環(huán)境中運(yùn)行的工藝應(yīng)用而設(shè)計(jì)。廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè)，包括航天航空、半導(dǎo)體、新能源、軍工、汽車、手機(jī)、新型顯示、電子元器件、光通訊、軌道交通、3C數(shù)碼及電子等領(lǐng)域。通過(guò)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有高度的絕緣強(qiáng)度、耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤(rùn)滑、防塵、防水、防潮、防銹、透明、抗老化、生物相容性等作用。

Series 3000 CR系統(tǒng)一體化泵架能夠顯著減少顆粒物排放，從而為潔凈室在最嚴(yán)苛的環(huán)境下提供更為清潔和緊湊的整體解決方案。  因在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間，該系統(tǒng)已被全球眾多潔凈室設(shè)施，例如醫(yī)藥、航空航天、汽車、高科技電子及高等院校廣泛采用，且其應(yīng)用范圍與使用數(shù)量仍在持續(xù)增長(zhǎng)。

Series 3000 CR系統(tǒng)具有以下優(yōu)勢(shì)：

具備模塊化組裝結(jié)構(gòu)，并提供可調(diào)節(jié)尺寸的工藝腔室；

系統(tǒng)支持多種可選配置，包括轉(zhuǎn)盤裝置及適配不同基板類型的夾具；

工藝腔室的裝載操作于潔凈室內(nèi)完成；

卸載則通過(guò)位于過(guò)渡區(qū)域（灰區(qū)）的氣閘門實(shí)現(xiàn)。

進(jìn)口parylene派瑞林鍍膜設(shè)備Series 3000 CR

我們提供的Parylene派瑞林真空鍍膜設(shè)備既有適用于科研領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)型機(jī)型，也有適用于工業(yè)量產(chǎn)領(lǐng)域的工業(yè)機(jī)型。同時(shí)，我們也可以根據(jù)需求在真空腔體中集成等離子源，實(shí)現(xiàn)在沉積之前能夠?qū)倪M(jìn)行表面化處理，從而提高薄膜的粘附性。另外，我們也可以提供適用于超凈間使用的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，在小占地面積下提供高性能技術(shù)，節(jié)約大量的超凈間占地空間。

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