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全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

NEE-4000(A)全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng):NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔配置,樣品臺位于主腔體,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間的門閥作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。自動裝/卸載基片可通過第三方的預(yù)真空鎖實現(xiàn)。通過PC計算機控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

  • 產(chǎn)品型號:NEE-4000(A)
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-04-28
  • 訪  問  量:5285
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產(chǎn)品詳情

電子束蒸發(fā)技術(shù)

NEE-4000(A)全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內(nèi),二級腔體則用于安置電子束源。這種在兩個腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,他可以通過第三方的預(yù)真空鎖來實現(xiàn),這可以設(shè)置于立方體的左側(cè)。通過PC計算機控制,系統(tǒng)可以提供多電子束源的共蒸發(fā)能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

NEE-4000(A)全自動電子束蒸發(fā)系統(tǒng)特點:

  • 順序蒸發(fā)或共蒸發(fā)
  • 雙電子束源
  • 多凹槽電子槍
  • 可編程電子束掃描
  • 10KW開關(guān)電源
  • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
  • 自動上下載片
  • 材料和襯墊更換非常方便
  • 晶振式膜厚監(jiān)測儀
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機控制
  • 菜單驅(qū)動,四級訪問密碼保護
  • *的安全聯(lián)鎖

產(chǎn)品型號:

  • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統(tǒng)
  • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統(tǒng)
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