日韩欧美一区二区三区四区,亚洲第一页在线,又黄又爽好看视频,伊人女人色

產(chǎn)品中心/ products

您的位置:首頁  -  產(chǎn)品中心  -  刻蝕系統(tǒng)  -  RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)  -  NRE-4000(M)反應(yīng)離子刻蝕

NRE-4000(M)反應(yīng)離子刻蝕

NRE-4000(M)反應(yīng)離子刻蝕:獨立式RIE系統(tǒng),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品,不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持Z大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-04-28
  • 訪  問  量:3214
立即咨詢

聯(lián)系電話:021-62318025

產(chǎn)品詳情

反應(yīng)離子刻蝕

NRE-4000(M)反應(yīng)離子刻蝕概述

NRE-4000是一款獨立式RIE系統(tǒng),配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持大到12”的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

該系統(tǒng)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)?;谌詣拥目刂?,該系統(tǒng)具有高度的可重復性。

NRE-4000(M)反應(yīng)離子刻蝕產(chǎn)品特點

  • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體
  • 不銹鋼立柜
  • 能夠刻蝕硅的化合物(~400Å /min)以及金屬
  • 典型的硅刻蝕速率,400 Å/min
  • 高達12”的陽極氧化鋁RF樣品臺
  • 水冷及加熱的RF樣品臺
  • 大自偏壓
  • 淋浴頭氣流分布
  • 極限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達到10-6Torr級別
  • 渦輪分子泵
  • 至多支持8MFC
  • 無繞曲氣體管路
  • 自動下游壓力控制
  • 雙刻蝕能力支持:RIE以及PE刻蝕(可選)
  • 終點監(jiān)測
  • 氣動升降頂蓋
  • 手動上下載片
  • 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護
  • *的安全聯(lián)鎖
  • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕

NRE-4000(M) Features

  • Aluminum or Stainless Steel Chamber
  • Stainless Steel Cabinet
  • Capable of etching Si compounds (~400 Å /min)and metals
  • Typical Si etch rate, 400 Å/min
  • Up to 12“ Anodized RF Platen
  • Water Cooled and Heated RF Platen
  • Large Self Bias
  • Shower Head gas distribution
  • Approximay 10-6 Torr < 20 minutes, ~ 5 x10-7 Torr base pressure
  • Turbomolecular Pump
  • Up to eight MFCs
  • No flexing of gas lines
  • Down Stream Pressure Control
  • Dual Etch capability: RIE and Plasma Etch(Option)
  • End Point Detection
  • Pneumatically Lifted Top
  • Manual loading/unloading
  • PC Controlled with LabVIEW
  • Recipe Driven, Password Protected
  • Fully Safety Interlocked 
  • Optional ICP source and cryogenic cooling of the platen for deep Si etch
在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
產(chǎn)品中心
021-62318025
掃碼
加微信
版權(quán)所有©2025 那諾中國有限公司 All Rights Reserved   備案號:   sitemap.xml   技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng)   管理登陸
欧美炮图一区二区三区| 亚洲性交网站在线播放| 美女张开大屄精品视频一区二区三区| 欧美午夜18禁成人在线| 欧美午一区二区| 无码一来二区| 日韩在线欧美系列| 欧美熟妇一区、二区| 日B视频1000| 中文字幕日韩人妻视频一区| 国产日韩一区二区三区在线观看| 亚洲欧美性色一区| 日韩一区在线影院| 日韩欧美伦理一区| 三级三级久久三级| 欧美一区久久久| 巩义天气预报| 久久国产香蕉视频日本| 欧美日韩亚洲激情另类| 色丝袜AV网| 一区二区三区玖玖| 大香蕉国产电影一区| 亚州午夜久久久久国产| 色丝袜综合| 黑人九九九久久久| 丰满白嫩小少妇办公室影院| 久久久久久久中文字幕电影| 一区二区美国日本亚洲久久| 久久日本综合道一区二区| 精品人妻日日三区| 国产艹b在线观看| 操逼入内视频| 亚洲老热女精品久久久| 女教师亚洲一区| 国产精品porn首页| 白领av在线| 亚洲一区二区三区夜夜| 中文字幕亚洲熟妇熟色av| 豆花最新一区二区三区| 超碰在线免费观看无毒不卡| 性生活视频欧美日韩|